ASML
| 種類 | 公開会社 |
|---|---|
| 市場情報 |
Euronext: ASML NASDAQ: ASMLD |
| 本社所在地 |
フェルトホーフェン |
| 設立 | 1984年 |
| 業種 | 半導体産業 |
| 事業内容 | 半導体露光装置の製造・販売 |
| 売上高 |
|
| 純利益 |
|
| 総資産 | 72億6081万ユーロ (2011年)[1] |
| 従業員数 | 7955人 (2011年)[1] |
| 外部リンク | ASML日本語版Webサイト |
ASML(蘭: ASML Holding N.V.)は、オランダ南部・フェルトホーフェンに本部を置く半導体製造装置メーカーである。半導体露光装置(ステッパー、フォトリソグラフィ装置)を販売する世界最大の会社で、16ヶ国に60以上の拠点を有し、世界中の主な半導体メーカーの80%以上がASMLの顧客である。ユーロネクスト、NASDAQ上場企業(Euronext: ASML 、NASDAQ: ASMLD)。
概要[編集]
IDMやファウンドリなどの半導体メーカーは、ムーアの法則に従い、製造するIC(集積回路)を年々微細化する。ICの製造工程では、30から40回シリコンウェハーに露光するため、露光機の性能がICの性能を左右すると言っても過言ではない。その為、ASMLは継続的に研究開発を行っている[2]。
近年の露光機には、光源に紫外線を発するArFエキシマレーザーが使用されており、さらに液浸露光技術が用いられる。2007年には液浸露光装置の解像度が37ナノメートルに達した。[3]
光学系はカール・ツァイスが供給し、蛍石や石英がレンズに使用されている。近年では反射鏡を組み合わせた光学系もある。
ASMLは液浸の採用によって2003年以降、躍進した[4]。2006年に出荷された「XT:1700i」は45nm世代の量産に向けたArF液浸スキャナーで、光学系の開口数(N.A.)が1.20と、初めてこれまでの限界とされてきた1.00を超えた[4]。
世界シェア・ランキング[編集]
売上高ベースで2007年のASML露光装置の世界シェアは65%。[5] 1996年は日本のニコンが約50%弱、キヤノンが約25%のシェアを獲得していた。
2008年の半導体製造装置メーカーランキング(VLSI Researchによる)では、東京エレクトロンを抜き2位に浮上し、[6] 2011年の同ランキングではアプライド・マテリアルズを抜き、初めて1位となった。[7]
沿革[編集]
- 1984年 フィリップス社とASM International社がそれぞれ50%ずつ出資する合弁会社ASM Lithographyとして設立[3]
- 1988年 スピンオフし独立した企業となり、旧社名の省略形のASMLを社名とする
- 1995年 アムステルダム証券取引所およびナスダックに上場[3]
- 2001年 エーエスエムエル・ジャパン株式会社を設立
- 2004年8月にArF液浸露光装置の第1世代機(試作機)「AT:1150i」出荷
- 2004年 第2世代機(先行量産機)「XT:1250i」出荷
- 2004年 第3世代機(量産機)「XT:1400i」出荷
- 2006年 第4世代機(量産機)「XT:1700i」出荷
- 2012年 アメリカの同業サイマーを買収[8]
- 2016年 台湾の漢民微速科技を買収[9]
関連項目[編集]
- 国際半導体技術ロードマップ
- IMEC (英語)
- Multiple Patterning (英語)
- EUV Lithography (英語)
外部リンク[編集]
出典[編集]
- ^ a b c d “Five-Year Financial Summary in Annual Report 2011”. 2012年7月19日閲覧。
- ^ “ASMLの半導体技術、「ムーアの法則」維持できるか”. ウォール・ストリート・ジャーナル (2016年10月3日). 2017年1月2日閲覧。
- ^ a b c “ASMLの歴史”. 2012年7月20日閲覧。
- ^ a b F2スキャナーからArF「液浸」スキャナーへの大逆転
- ^ http://www.asml.com/asml/show.do?ctx=40715&rid=40723
- ^ https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/pdf_file_1237312663.htm
- ^ https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/706001v1.0.htm
- ^ “ASML、半導体向けEUVリソグラフィの開発を促進に向けCymerを買収”. マイナビニュース (2012年10月17日). 2017年1月2日閲覧。
- ^ “蘭ASMLが台湾の漢民微測科技を買収へ-約3260億円で”. ブルームバーグ (2016年6月16日). 2017年1月2日閲覧。
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