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[[:en: Integrated device manufacturer |IDM]]や[[ファウンドリ]]などの半導体メーカーは、[[ムーアの法則]]に従い、製造するIC（[[集積回路]]）を年々微細化する。ICの製造工程では、30から40回[[シリコンウェハー]]に露光するため、露光機の性能がICの性能を左右すると言っても過言ではない。その為、ASMLは継続的に研究開発を行っている<ref>{{cite web|url=http://jp.wsj.com/articles/SB11248959841534934584204582351212992525898|title=ASMLの半導体技術、「ムーアの法則」維持できるか|accessdate=2017-01-02|date=2016-10-03|publisher=ウォール・ストリート・ジャーナル}}</ref>。
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近年の露光機には、光源に[[紫外線]]を発するArF[[エキシマレーザー]]が使用されており、さらに[[液浸]]露光技術が用いられる。2007年には液浸露光装置の[[分解能 |解像度]]が37[[ナノメートル]]に達した。<ref name="ASMLの歴史">{{Cite web|title=ASMLの歴史 |url=http://www.asml.com/asml/show.do?lang=JA&ctx=43436&rid=43443 |accessdate=2012-07-20}}</ref>
近年の露光機には、光源に[[紫外線]]を発するArF[[エキシマレーザー]]が使用されており、さらに[[液浸]]露光技術が用いられる。2019年には液浸露光装置の[[分解能 |解像度]]が13[[ナノメートル]]に達した。<ref name="ASMLの歴史">{{Cite web|title=ASMLの歴史 |url=http://www.asml.com/asml/show.do?lang=JA&ctx=43436&rid=43443 |accessdate=2012-07-20}}</ref>


光学系は[[カール・ツァイス]]が供給し、[[蛍石]]や[[石英]]が[[レンズ]]に使用されている。近年では反射鏡を組み合わせた光学系もある。
光学系は[[カール・ツァイス]]が供給し、[[蛍石]]や[[石英]]が[[レンズ]]に使用されている。近年では反射鏡を組み合わせた光学系もある。
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== 世界シェア・ランキング ==
== 世界シェア・ランキング ==
売上高ベースで2007年のASML露光装置の世界シェアは65％。<ref>http://www.asml.com/asml/show.do?ctx=40715&rid=40723</ref> 1996年は日本の[[ニコン]]が約50％弱、[[キヤノン]]が約25％のシェアを獲得していた。
売上高ベースで2019年のASML露光装置の世界シェアは81.2％である<ref>{{Cite book|title=世界半導体製造装置・試験/検査装置市場年鑑2019|date=2019年|year=2019年|publisher=グローバルネット株式会社}}</ref>。1996年は日本の[[ニコン]]が約50％弱、[[キヤノン]]が約25％のシェアを獲得していた。


2008年の[[半導体・製造装置メーカー売上高ランキング|半導体製造装置メーカーランキング]]（VLSI Researchによる）では、[[東京エレクトロン]]を抜き2位に浮上し、<ref>https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/pdf_file_1237312663.htm</ref> 2011年の同ランキングでは[[アプライド・マテリアルズ]]を抜き、初めて1位となった。<ref>https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/706001v1.0.htm</ref>
2008年の[[半導体・製造装置メーカー売上高ランキング|半導体製造装置メーカーランキング]]（VLSI Researchによる）では、[[東京エレクトロン]]を抜き2位に浮上し、<ref>https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/pdf_file_1237312663.htm</ref> 2011年の同ランキングでは[[アプライド・マテリアルズ]]を抜き、初めて1位となった。<ref>https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/706001v1.0.htm</ref>

2020年9月4日 (金) 02:02時点における版

ASMLホールディング
ASML Holding N.V.
フェルトホーフェンの本社
種類 公開会社
市場情報 Euronext: ASML
NASDAQ: ASML
本社所在地 オランダの旗 オランダ
5504
De Run 6501, フェルトホーフェン
設立 1984年 (40年前) (1984)
業種 半導体産業
事業内容 半導体露光装置の製造・販売
売上高 増加 56億5103万ユーロ （2011年）[1]
純利益 増加 14億6696万ユーロ （2011年）[1]
総資産 72億6081万ユーロ （2011年）[1]
従業員数 19,216人 （2017年）
外部リンク 公式ウェブサイト
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ASML（蘭: ASML Holding N.V.）は、オランダ南部・フェルトホーフェンに本部を置く半導体製造装置メーカーである。半導体露光装置（ステッパー、フォトリソグラフィ装置）を販売する世界最大の会社で、16ヶ国に60以上の拠点を有し、世界中の主な半導体メーカーの80%以上がASMLの顧客である。日本法人はエーエスエムエル・ジャパン株式会社。ユーロネクスト・アムステルダム、NASDAQ上場企業（Euronext: ASML 、NASDAQ: ASML）。

概要

IDMやファウンドリなどの半導体メーカーは、ムーアの法則に従い、製造するIC（集積回路）を年々微細化する。ICの製造工程では、30から40回シリコンウェハーに露光するため、露光機の性能がICの性能を左右すると言っても過言ではない。その為、ASMLは継続的に研究開発を行っている[2]。

近年の露光機には、光源に紫外線を発するArFエキシマレーザーが使用されており、さらに液浸露光技術が用いられる。2019年には液浸露光装置の解像度が13ナノメートルに達した。[3]

光学系はカール・ツァイスが供給し、蛍石や石英がレンズに使用されている。近年では反射鏡を組み合わせた光学系もある。

ASMLは液浸の採用によって2003年以降、躍進した[4]。2006年に出荷された「XT:1700i」は45nm世代の量産に向けたArF液浸スキャナーで、光学系の開口数（N.A.）が1.20と、初めてこれまでの限界とされてきた1.00を超えた[4]。

世界シェア・ランキング

売上高ベースで2019年のASML露光装置の世界シェアは81.2％である[5]。1996年は日本のニコンが約50％弱、キヤノンが約25％のシェアを獲得していた。

2008年の半導体製造装置メーカーランキング（VLSI Researchによる）では、東京エレクトロンを抜き2位に浮上し、[6] 2011年の同ランキングではアプライド・マテリアルズを抜き、初めて1位となった。[7]

沿革

  • 1984年 フィリップス社とASMインターナショナル社がそれぞれ50％ずつ出資する合弁会社ASM Lithographyとして設立[3]
  • 1988年 スピンオフし独立した企業となり、旧社名の省略形のASMLを社名とする
  • 1995年 アムステルダム証券取引所およびナスダックに上場[3]
  • 2001年 エーエスエムエル・ジャパン株式会社を設立
  • 2004年8月にArF液浸露光装置の第1世代機（試作機）「AT:1150i」出荷
  • 2004年 第2世代機（先行量産機）「XT:1250i」出荷
  • 2004年 第3世代機（量産機）「XT:1400i」出荷
  • 2006年 第4世代機（量産機）「XT:1700i」出荷
  • 2012年 アメリカの同業サイマーを買収[8]
  • 2016年 台湾の漢民微速科技を買収[9]

日本法人

日本法人は「エーエスエムエル・ジャパン株式会社」（ASMLジャパン）で、2001年に設立、東京（御殿山トラストタワー）に本社オフィスを持つほか、北上市、鶴岡市、四日市市、東広島市、熊本市、長崎市にオフィスを持つ[10]。

関連項目

出典

  1. ^ a b c “Five-Year Financial Summary in Annual Report 2011”. 2012年7月19日閲覧。
  2. ^ “ASMLの半導体技術、「ムーアの法則」維持できるか”. ウォール・ストリート・ジャーナル (2016年10月3日). 2017年1月2日閲覧。
  3. ^ a b c “ASMLの歴史”. 2012年7月20日閲覧。
  4. ^ a b F2スキャナーからArF「液浸」スキャナーへの大逆転
  5. ^ 世界半導体製造装置・試験/検査装置市場年鑑2019. グローバルネット株式会社. (2019年 2019) 
  6. ^ https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/pdf_file_1237312663.htm
  7. ^ https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/706001v1.0.htm
  8. ^ “ASML、半導体向けEUVリソグラフィの開発を促進に向けCymerを買収”. マイナビニュース (2012年10月17日). 2017年1月2日閲覧。
  9. ^ “蘭ＡＳＭＬが台湾の漢民微測科技を買収へ－約3260億円で”. ブルームバーグ (2016年6月16日). 2017年1月2日閲覧。
  10. ^ “Contact information” (英語). ASML Holding N.V.. 2020年7月25日閲覧。

外部リンク

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  4. レレックス・グループ（REN）
  5. プロサス（PRX）
  6. Adyen（ADYEN）
  7. INGグループ（INGA）
  8. アホールド・デレーズ（AD）
  9. ウォルターズ・クルワー（WKL）
  10. ハイネケン（HEIA）
  11. DSM（DSM）
  12. ユニバーサル ミュージック グループ (UMG)
  13. ASMインターナショナル（ASM）
  14. フィリップス（PHIA）
  15. アクゾノーベル（AKZA）
  16. アルセロール・ミッタル（MT）
  17. KPN（KPN）
  18. NNグループ（NN）
  19. IMCD（IMCD）
  20. エクソール（EXO）
  21. ランスタッド（RAND）
  22. エイゴン（AGN）
  23. ABNアムロ・グループ（ABN）
  24. BEセミコンダクター・インダストリーズ（BESI）（英語版）
  25. ASRネーデルラント（ASRNL）（英語版）
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