ASML
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| 市場情報 | Euronext: ASML NASDAQ: ASMLD |
|---|---|
| 本社所在地 |  オランダフェルトホーフェン |
| 設立 | 1984年 |
| 業種 | 半導体産業 |
| 事業内容 | 半導体露光装置の製造・販売 |
| 売上高 |  56億5103万ユーロ （2011年）[1] |
| 純利益 | 14億6696万ユーロ （2011年）[1] |
| 総資産 | 72億6081万ユーロ （2011年）[1] |
| 従業員数 | 7955人 （2011年）[1] |
| 外部リンク | ASML日本語版Webサイト |
ASMLは、オランダに本部を置く半導体製造装置メーカーである。半導体露光装置（ステッパー、フォトリソグラフィ装置）を販売する世界最大の会社で、16ヶ国に60以上の拠点を有し、世界中の主な半導体メーカーの80%以上がASMLの顧客である。
目次 |
概要 [編集]
IDMやファウンドリなどの半導体メーカーは、ムーアの法則に従い、製造するIC（集積回路）を年々微細化する。ICの製造工程では、30から40回シリコンウェハーに露光するため、露光機の性能がICの性能を左右すると言っても過言ではない。その為、ASMLは継続的に研究開発を行っている。
近年の露光機には、光源に紫外線を発するArFエキシマレーザーが使用されており、さらに液浸露光技術が用いられる。2007年には液浸露光装置の解像度が37ナノメートルに達した。[2]
光学系はカール・ツァイスが供給し、蛍石や石英がレンズに使用されている。近年では反射鏡を組み合わせた光学系もある。
世界シェア・ランキング [編集]
売上高ベースで2007年のASML露光装置の世界シェアは65％。[3] 1996年は日本のニコンが約50％弱、キヤノンが約25％のシェアを獲得していた。
2008年の半導体製造装置メーカーランキング（VLSI Researchによる）では、東京エレクトロンを抜き2位に浮上し、[4] 2011年の同ランキングではアプライド・マテリアルズを抜き、初めて1位となった。[5]
歴史 [編集]
- 1984年 フィリップス社とASM International社がそれぞれ50％ずつ出資する合弁会社として設立[2]
- 1995年 アムステルダム証券取引所およびナスダックに上場[2]
- 2001年 エーエスエムエル・ジャパン株式会社を設立
関連項目 [編集]
- 国際半導体技術ロードマップ
- IMEC （英語）
- Multiple Patterning （英語）
- EUV Lithography （英語）
外部リンク [編集]
出典 [編集]
- ^ a b c d “Five-Year Financial Summary in Annual Report 2011”. 2012年7月19日閲覧。
- ^ a b c “ASMLの歴史”. 2012年7月20日閲覧。
- ^ http://www.asml.com/asml/show.do?ctx=40715&rid=40723
- ^ https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/pdf_file_1237312663.htm
- ^ https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/706001v1.0.htm
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