ASML

ASML Holding N.V.

市場情報	Euronext: ASML NASDAQ: ASMLD
本社所在地	オランダ フェルトホーヘン
事業内容	ステッパー装置製造
売上高	35億9700万ユーロ（2006年）

ASMLはオランダに本部を置く半導体製造装置の露光機(ステッパー)を販売する世界最大の会社である。世界中の主な半導体製造会社の80%以上がASMLの顧客である。

概要

ASMLは半導体製造会社のより微細な集積度の高い大規模集積回路を製造する要求に応えるため、改良を行っている。大規模集積回路はムーアの法則に従い、年々微細化しつつある。2007年では線幅は37ナノメートルに達している。

半導体を製造する時、30から40回シリコンウエハーに露光する。露光機の性能が半導体を左右すると言っても過言では無い。ASMLは露光機の市場で強固な立場を築いている。光学系はカールツアイスが供給している。年々、微細化するため、光源には紫外光を発するレーザーが使用されており、蛍石や石英がレンズに使用されている。近年では反射鏡を組み合わせた光学系もある。14ヶ国に50の拠点を有する。

近年では半導体のみならず、TFT液晶ディスプレイやMEMS関連の需要もある。

歴史

• 1984年 フィリップス社から分社化

参考

• 躍進するASML

外部リンク

• ASML 日本語公式サイト