磁気力顕微鏡

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磁気力顕微鏡(じきりょくけんびきょう、Magnetic Force Microscopy;MFM)とは、プローブ顕微鏡の一種であり、表面の微小磁区を測定する事ができる顕微鏡である。

特徴[編集]

磁気力顕微鏡が、他の走査型プローブ顕微鏡と異なる点は、カンチレバーパーマロイコバルト系の磁性材料蒸着した物を用いる点にある。材料表面からの漏洩磁束を測定する事は、試料表面付近では原子間力の影響が大きくなるためにプローブ顕微鏡の中でも非常に難しい部類に属している。漏洩磁束の検出感度は、プローブのQ値曲率半径などに依存している。現在は、JS(Just On surface)-MFMなどの分解能10 nm前後の物が最高感度とされる。