サーフェイスマイクロマシニング

リンクを追加
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』

これはこのページの過去の版です。シダー近藤 (会話 | 投稿記録) による 2021年11月28日 (日) 04:05 （個人設定で未設定ならUTC）時点の版 (複数の問題追加。サブスタブ追加。)であり、現在の版とは大きく異なる場合があります。

サーフェイスマイクロマシニングは、MEMS（マイクロマシン）作製技術の一つ。 薄膜（数μm程度）を加工してMEMSデバイスを作製する技術の総称。

集積回路作製技術に犠牲層エッチングを付加したもの。

  1. 成膜
  2. リソグラフィ
  3. エッチング

の繰り返しでデバイスを作製する。

関連項目

サブスタブ

この項目は、まだ閲覧者の調べものの参照としては役立たない、書きかけの項目です。この項目を加筆・訂正などしてくださる協力者を求めています。

このテンプレートは分野別のサブスタブテンプレートやスタブテンプレート（Wikipedia:分野別のスタブテンプレート参照）に変更することが望まれています。

「https://ja.wikipedia.org/w/index.php?title=サーフェイスマイクロマシニング&oldid=86750699」から取得