トリクロロシラン

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トリクロロシラン
識別情報
CAS登録番号 10025-78-2 チェック
EINECS 233-042-5
国連番号 1295
RTECS番号 VV5950000
特性
化学式 HCl3Si
モル質量 135.45 g/mol
外観 無色液体
密度 1.342 kg/m3
融点

-126.6 ℃

沸点

31.8 ℃

への溶解度 水と反応
危険性
MSDS ICSC 0591
NFPA 704
NFPA 704.svg
4
3
2
W
Rフレーズ R12, R14, R17, R20/22, R29, R35
Sフレーズ (S2), S7/9, S16, S26, S36/37/39, S43, S45
引火点 -27 ℃
発火点 185 ℃
爆発限界 1.2–90.5%
特記なき場合、データは常温 (25 °C)・常圧 (100 kPa) におけるものである。

トリクロロシラン (trichlorosilane) は、ケイ素塩素水素から成る無機化合物で、示性式は HSiCl3 と表される。高温で熱分解を起こして単体ケイ素に変わる性質から、半導体工業において高純度ケイ素の主原料として利用される。水と触れると速やかに分解してシリコーンのポリマーおよび塩化水素となる。反応性が高く入手が容易であることから、有機ケイ素化合物の原料ともされる。

製造[編集]

工業的には、トリクロロシランは塩化水素のガスを 300 ℃ でケイ素の粉末に吹き付けて製造する。下式のように、トリクロロシランとともに水素が生じる。

Si + 3 HCl → HSiCl3 + H2

適切に設計された反応装置では、80-90% の収率でトリクロロシランが得られる。主な副生物は四塩化ケイ素 (SiCl4)、六塩化二ケイ素 (Si2Cl6)、ジクロロシラン (H2SiCl2) であり、トリクロロシランは蒸留により取り出される。この逆反応により高純度の単体ケイ素が得られる。

用途[編集]

上記のように、トリクロロシランは高純度の多結晶ケイ素の原料とされる。

脚注[編集]