シリコンフォトニクス

シリコンフォトニクス(Silicon photonics)とは、半導体産業で広く使われているSi(ケイ素)上にSi系材料(SiやGe)を用いて発光素子や受光器、光変調器といったデバイスを集積する技術のことである。現在の半導体微細化の技術は、高度に発展した半導体リソグラフィ技術に依るところが大きい。このリソグラフィおよび酸化・熱処理、不純物ドーピングなどの技術は総称してCMOS製造プロセスと呼ばれている。Si系材料はSi-CMOS製造プロセスとよく整合することから、高速かつ低消費電力の近距離光通信への応用が期待されている。