トリメチルシラン

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トリメチルシラン
識別情報
CAS登録番号 993-07-7
ChemSpider 63614
特性
化学式 C3H10Si
モル質量 74.2 g mol−1
密度 0.638 g cm-3
融点

-135.9 °C, 137 K, -213 °F

沸点

6.7 °C, 280 K, 44 °F

危険性
EU分類 強い可燃性 F
NFPA 704
NFPA 704.svg
4
2
1
Rフレーズ R12, R36/37/38
Sフレーズ S9, S16, S26, S33
特記なき場合、データは常温 (25 °C)・常圧 (100 kPa) におけるものである。

トリメチルシラン (trimethylsilane) またはトリメチルシリルヒドリド (trimethylsilyl hydride) は、化学式がC3H10Si、構造式が(CH3)3SiHで表される化合物である。引火性が非常に大きい。プラズマ相のエッチング液として半導体工業で用いられる[1]

出典[編集]

  1. ^ Chen, Sheng-Wen; Wang, Yu-Sheng; Hu, Shao-Yu; Lee, Wen-Hsi; Chi, Chieh-Cheng; Wang, Ying-Lang (2012). “A Study of Trimethylsilane (3MS) and Tetramethylsilane (4MS) Based α-SiCN:H/α-SiCO:H Diffusion Barrier Films”. Materials 5 (3): 377. doi:10.3390/ma5030377. 

関連項目[編集]