Template:薄膜 - Wikipedia

作成法

気相堆積法

真空蒸着法	抵抗加熱蒸着法電子ビーム加熱蒸着法（EBPVD）（英語版）パルスレーザー堆積法（PLD）（英語版）分子線エピタキシー法（MBE）

熱CVD	有機金属化学気相成長法（MOCVD）ツーフローMOCVD 触媒化学気相成長法（Cat-CVD）

液相堆積法

融液法

溶液法

塗布法	スピンコート印刷インクジェット

機能・応用