X線顕微鏡

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走査型X線顕微鏡の回折パターン
菜種のX線顕微鏡画像

X線顕微鏡(—せんけんびきょう)とは、X線をプローブとして観察する顕微法の総称である。

概要[編集]

可視光に比べて波長の短いX線を使用するため、空間分解能が高い画像を得ることができる可能性があり、注目されている。観測法としては結像型・走査型が、観測手段によりX線吸収・位相変化・蛍光X線などの利用がある。強度の強い光源が必要となるため、主にシンクロトロン放射光を利用して発達している。用いられる光学素子として最も代表的なのはゾーンプレートである。現在の分解能は 15 nm が最高値である。

用途[編集]

  • 材料研究
  • 生物学
  • 半導体

脚注[編集]

文献[編集]

関連項目[編集]