酢酸2-メトキシ-1-メチルエチル

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酢酸2-メトキシ-1-メチルエチル
識別情報
CAS登録番号 108-65-6 チェック
PubChem 7946
ChemSpider 7658
UNII PA7O2U6S2Q チェック
特性
化学式 C6H12O3
モル質量 132.16 g mol−1
危険性
Hフレーズ H226, H360, H402
NFPA 704
NFPA 704.svg
2
1
0
引火点 43 °C (109 °F; 316 K)
発火点 333 °C (631 °F; 606 K)
特記なき場合、データは常温 (25 °C)・常圧 (100 kPa) におけるものである。

酢酸2-メトキシ-1-メチルエチル(Propylene glycol methyl ether acetate, PGMEA)は、インク、コーティング、クリーナー等に用いられるP型のグリコールエーテルである。ダウ・ケミカルからDowanol PMA[2]シェル・ケミカルからmethyl proxitol acetateの名前で[3][4]販売されている。

半導体業界では、ウェハービス(トリメチルシリル)アミンのような表面接着剤の用途で、溶剤としてよく用いられている[5]。また、揮発しやすいため、半導体のクリーンルーム等では大気経由でコンタミネーションしやすい分子である[6]


出典[編集]