真空計

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真空計(しんくうけい、: vacuum gauge)は、真空ゲージ圧、つまり大気圧以下の圧力(負圧)を測るための圧力計の一種である。

測定方式によって測定できる圧力の範囲がある。使用できる範囲も決められている場合があり、それらを把握して使用する必要がある。1台で大気圧から高真空(0.1Pa未満)を測定できる真空計は存在しない。そのため最近では1個の端子に2種類の真空計を入れて、大気圧から高真空を測定できるようにした複合真空計が市販されている。多くは大気圧から中真空(100 - 0.1Pa)程度まで測定できる真空計とB-Aゲージとの組み合わせとなっている。

測定方法による分類[編集]

差圧真空計
圧力差を利用して測定する
絶対圧真空計
物理量によって圧力を測定する

測定対象による分類[編集]

全圧真空計[編集]

全圧真空計は環境(チャンバ内)の圧力のみを測定する真空計である。真空計とは通常これを指す。全圧真空計は測定方式により主に3つに分けられる:

  • 機械的な現象
  • 気体の輸送現象
  • 気体の電離現象

機械的現象[編集]

気体の輸送現象[編集]

動作原理として気体の入射によるの移動を利用する真空計を熱伝導真空計(ねつでんどうしんくうけい)という。原理的に粘性流領域では気体の対流も加わるため、正確な値を示さない。サーミスタ真空計やピラニー真空計などがこれに分類される。

気体の電離現象[編集]

分圧真空計[編集]

分圧真空計は環境(チャンバ内)の気体成分の分子量ごとに圧力を測定する真空計である。質量分析計とも呼ばれる。

関連項目[編集]