ドライポンプ

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ドライポンプは接ガス部にオイルを用いない真空ポンプである。内部の機構全てがオイルフリーなわけではない。半導体製造など、油汚染を嫌う場合に多く使われる。

真空ポンプの分類として、ウエットポンプに対比する用語。

ドライポンプの種類 [編集]


関連項目[編集]

ドライポンプメーカー