窒化タンタル

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窒化タンタル
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識別情報
CAS登録番号 12033-62-4 チェック
PubChem 83832
EINECS 234-788-4
特性
化学式 TaN
モル質量 194.955 g/mol
外観 黒色結晶
密度 14.3 g/cm3
融点

3090 °C, 3363 K, 5594 °F

への溶解度 不溶
構造
結晶構造 六方晶, hP6
空間群 P-62m, No. 189
危険性
EU Index Not listed
引火点 不燃
関連する物質
その他の陽イオン 窒化バナジウム(III)
窒化ニオブ
特記なき場合、データは常温 (25 °C)・常圧 (100 kPa) におけるものである。

窒化タンタル(Tantalum nitride)は、タンタル窒化物である。やその他の導電性金属の間のバリアや「糊」の層、また熱酸化物等の誘電絶縁体フィルムの製造に使われることがある。これらのフィルムは、集積回路の製造の際に、薄膜抵抗器等として、シリコンウェハーの上に沈着される[1]

出典[編集]

  1. ^ Akashi, Teruhisa (2005年). “Fabrication of a Tantalum-Nitride Thin-Film Resistor with a Low-Variability Resistance”. 2006年9月2日閲覧。