メタライズ

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メタライズ: metallizing)とは、半導体基板から電流電気信号を取り出すために、基板表面にアルミニウムなどの金属薄膜を成長させ、配線を形成することである。薄膜の形成手法として、物理気相成長(PVD)や化学気相成長(CVD)が用いられる。

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