オージェ電子分光

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オージェ電子分光(オージェでんしぶんこう)は、電子分光のひとつ。

概要[編集]

原子内殻電子X線電子ビームで放出させると、励起状態イオンが生成するが、励起状態イオンは(1)特性X線を放出する、(2)内殻軌道に外殻電子が遷移し、そのエネルギーをもって他の外殻電子が放出され、多重イオン化する、のいずれかの過程で脱励起する。

(2)の過程はオージェ過程と呼ばれ、ピエール・オージェ1925年に発見した。放出されるオージェ電子運動エネルギーは、内殻電子と2個の外殻電子の束縛エネルギーから算出され、これら束縛エネルギーは原子毎に固有なことから、3電子過程を行い得ない水素ヘリウム以外の元素を検出分析することができる。測定は、真空中でX線または電子線を測定対象に照射し、放出される電子の速度(運動エネルギー)を分析、検出する電子分光器を用いる。測定対象は気体分子または固体表面に限られるが、ことに固体では中速電子線の励起深さ、脱出深さが数nm以下に限られるので、最表面の分析手法として最も利用価値が高い。固体表面の清浄度、組成、吸着種、薄膜等の検出・測定に広く用いられている。

関連項目[編集]