イオン顕微鏡

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イオン顕微鏡(イオンけんびきょう)は電子顕微鏡電子の代わりに陽子ヘリウムリチウムなどのイオンビームを使って拡大像を得る装置。イオンの物質波の波長は電子より短いので、同じ加速電圧の電子顕微鏡より分解能が高く、結晶面原子配列を観察できる。1951年米国のE.W.ミュラーが創案。

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